API XD-5D/6D精密型激光干涉儀 XD-5D 包含XD-3D 的全部功能,同時(shí)還能出來(lái)數(shù)控直線軸的偏擺角和俯仰角,選購(gòu)相應(yīng)的選件后,還能出來(lái)數(shù)控水平或立式轉(zhuǎn)臺(tái)、甚至在一定條件下能測(cè)量數(shù)控旋轉(zhuǎn)軸(A軸或B軸)
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