API XD6LS精密激光干涉儀 1D激光主要可以測量定位誤差 ??3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向) ??5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角
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