6D激光干涉儀誤差分析工作原理 美國(guó)api激光干涉儀,用于機(jī)床設(shè)備、測(cè)量?jī)x器及精密部件的線性精度、角度及回轉(zhuǎn)角精度的檢測(cè)和驗(yàn)收。API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國(guó)家和標(biāo)準(zhǔn)上的。
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