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 — 應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測(cè)器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))
 — 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
 — 對(duì)直線度進(jìn)行1:1的測(cè)量
 — 可一次性安裝, 與線性誤差一起測(cè)量, 方便, 快速

—  API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的，所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，
— 無需其他鏡組裝/調(diào)非常方便快速
— 在測(cè)兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測(cè)出，
— 大大節(jié)省了測(cè)量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò)。

偏擺角/

俯仰角測(cè)量

— 良好的PSD技術(shù)來測(cè)量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；
— 如果軸有角度變化，則光線會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
— 測(cè)量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試。不受滾動(dòng)角的影響，調(diào)整光路容易 。

（2.0+0.4/m）

或2%

（1.0+0.2/m）

或1%

（0.5+0.1/m）

或1%

（1.0+0.2/m）

或1%

（0.5+0.1/m）

或1%

偏擺角及俯仰角精度

（1.0+0.1/m）

或1%

（0.5+0.05/m）

或1%

（1.0+0.1/m）

或1%

（0.5+0.05/m）

或1%

0.1