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相敏渦流法的探頭由鐵素體鐵芯組成，鐵芯周圍繞有兩個(gè)線圈。首先，勵(lì)磁線圈中的電流產(chǎn)生高頻磁場(chǎng)(kHz-MHz范圍)，該磁場(chǎng)是樣品中產(chǎn)生了渦流。 

探頭里的另一個(gè)線圈，即測(cè)量線圈，用來測(cè)量交變電阻(阻抗)。探頭的阻抗通過樣品中的渦流修正，與無樣品時(shí)探頭產(chǎn)生的激勵(lì)渦流相比，其相位發(fā)生偏移(相位角φ)。

相位角φ是由材料的電導(dǎo)率直接決定的。

在相敏渦流法中，復(fù)阻抗的幅值對(duì)測(cè)量信號(hào)不產(chǎn)生影響。因此，探頭不必直接接觸被測(cè)物體表面。非接觸測(cè)量的距離補(bǔ)償可達(dá)200-700μm。該方法可以用來測(cè)量被箔片或油漆覆蓋的工件的電導(dǎo)率。